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高純?yōu)R射金靶/鉑靶/銅靶等各種板材

靶材/鍍膜

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wafer晶片用理片器/倒片器/挑片器/真空吸筆

理片器/倒片器/挑片器/真空吸筆

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非接觸式高精度表面測(cè)量?jī)x

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共焦- 干涉三維測(cè)量?jī)x

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電子束蒸發(fā)/磁控濺射/RIE等離子刻蝕/PECVD沉積系統(tǒng)

美國(guó)Torr光電半導(dǎo)體設(shè)備

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離子注入機(jī)

法國(guó)IBS離子注入設(shè)備

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