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非接觸式高精度表面測量儀
德國FRT-MicroGlider? 600是一款用于分析大面積樣品的非接觸式高精度表面測量儀?？諝廨S承上的大型定位工作臺（600 mm x 600 mm）和線性電機的非接觸式驅(qū)動確保了測量的高精度，比機械軸承所提供的線性誤差明顯更低，故特別適合在半導體、MEMS和太陽能行業(yè)等的大面積玻璃基板上進行快速、高分辨率的光度測量。 通過使用各種光學傳感器，也可高度精確地測量臺階高度、粗糙度、波紋度及其他2D/3D測量參數(shù)?？梢暂p松實現(xiàn)自動化測量。
可測量平整度、起伏度、臺階高度、圖形識別、表面形貌、凹凸、彎曲度、粗糙度、缺陷檢測、共面性、三維立體圖、磨損。
德國FRT-MicroGlider? 600是一款用于分析大面積樣品的非接觸式高精度表面測量儀。空氣軸承上的大型定位工作臺（600 mm x 600 mm）和線性電機的非接觸式驅(qū)動確保了測量的高精度，比機械軸承所提供的線性誤差明顯更低，故特別適合在半導體、MEMS和太陽能行業(yè)等的大面積玻璃基板上進行快速、高分辨率的光度測量。 通過使用各種光學傳感器，也可高度精確地測量臺階高度、粗糙度、波紋度及其他2D/3D測量參數(shù)?？梢暂p松實現(xiàn)自動化測量。
可測量平整度、起伏度、臺階高度、圖形識別、表面形貌、凹凸、彎曲度、粗糙度、缺陷檢測、共面性、三維立體圖、磨損。
v 公司簡介
FRT公司成立于1995年，專業(yè)生產(chǎn)高性能3D表面測量儀器。通過設(shè)計研發(fā)各種功能傳感器，根據(jù)不同的測量任務(wù)和測量范圍選擇不同的傳感器，按需求組合成不同規(guī)模的系統(tǒng)，配套使用自主開發(fā)的測量軟件，可廣泛應(yīng)用于測量單層及多層膜厚、TTV、應(yīng)力、形貌、結(jié)構(gòu)、缺陷、粗糙度、平整度、凹凸尺寸、彎曲度、翹曲度、磨損度、臺階高度等測量。
v 描述
MicroGlider? 600是一款用于分析大面積樣品的非接觸式高精度表面測量儀?？諝廨S承上的大型定位工作臺（600 mm x 600 mm）和線性電機的非接觸式驅(qū)動確保了測量的高精度，比機械軸承所提供的線性誤差明顯更低，故特別適合在半導體、MEMS和太陽能行業(yè)等的大面積玻璃基板上進行快速、高分辨率的光度測量。 通過使用各種光學傳感器，也可高度精確地測量臺階高度、粗糙度、波紋度及其他2D/3D測量參數(shù)?？梢暂p松實現(xiàn)自動化測量。
v 測量功能
平整度、起伏度、臺階高度、圖形識別、表面形貌、凹凸、彎曲度、粗糙度、缺陷檢測、共面性、三維立體圖、磨損。
v 優(yōu)勢
測量精度高，速度快，可滿足工業(yè)的最高要求；
可以集成到現(xiàn)有的生產(chǎn)過程中，比如作為一個一鍵式解決方案；
經(jīng)濟耐用，維修維護服務(wù)費用低。
System | MicroGlider? 600 | System Requirements |
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Assembly | Gantry Design | Environmental Requirements | Clean, Vibration Free, Stable Temperature |
Sensor | Multi-Sensor | Input Voltage | 110V/220V AC，1Phase |
Scanning Stage |
| Footprint (L×W×H) | 1100mm×1400mm×1550mm |
Travel | 600mm×600mm | Weight | approx. 2100kg |
Drive Type | Direct Drive | Measuring Characteristics (Measuring Head) | CWL 600μm (other sensors available) |
Bearing Type | Air Bearing | Measuring Range XY | 600mm×600mm |
Encoder Resolution | 20nm | Measuring Range Z | 600μm |
Flatness | ＜1μm/600mm | Resolution (lateral) | 2μm |
Max. Speed | 300mm/s | Resolution (vertical) | 6nm |
Load Capacity | 40kg |
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Z-Axis | Motorized Axis |
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Z-Axis Travel | 100mm |
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v 同系列產(chǎn)品
MicroGlider? 500R：用于旋轉(zhuǎn)對稱部件的非接觸式高精度測量儀。該設(shè)備基于FRT經(jīng)驗豐富的多傳感器技術(shù)，適合在研發(fā)和生產(chǎn)檢驗中使用。憑借光學色彩測量技術(shù)，可以快速檢測閥座和密封件等樣品而不造成破壞?？諝廨S承上的精密旋轉(zhuǎn)臺，配備創(chuàng)新的自定心樣品固定架，保證了精確的測量結(jié)果。具有交互式和自動化的測量和評估模式，可通過按鈕來啟動預設(shè)的測試程序。
