硅外延/藍(lán)寶石外延SOS/GaAs外延/Inp外延/GaN外延
Si增透膜/GaAs增透膜/Ge增透膜等
切割方形/異形/打孔/按圖紙加工
硅基電極/叉指電極/柔性電極/深硅刻蝕/光電子、微電子器件設(shè)計等微納加工
氧化硅SiO2/氮化硅SiN膜
加工鍍金/鍍鉑/鍍銅/鍍鋁/鍍鎳等金屬工藝