鍍金硅片 | 鍍鉑硅片 | 鍍銅硅片 | 鍍銀硅片 |
鍍膜工藝 | 標(biāo)準(zhǔn)磁控濺射,另外可提供電子束蒸發(fā); |
金屬鍍膜材料 | Au金、Pt鉑、Ag銀、Al鋁、Ni鎳、Ti鈦、Cr鉻、Cu銅等; |
鍍膜基底 | 硅片、石英玻璃、藍(lán)寶石片等; |
鍍膜厚度 | 15 nm - 1000 nm,或者更厚; |
基底尺寸 | 6英寸向下兼容,部分8英寸和12英寸; |
標(biāo)準(zhǔn)結(jié)構(gòu) | 基底~粘結(jié)層~金屬層; |
粗糙度 | 選用高平整度基底,鍍膜均勻性高,整體粗糙度好; |
牢固性 | 超聲清洗,膜層不脫落。 |