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德國(guó)OEG公司成立于1991年，專業(yè)設(shè)計(jì)制造光學(xué)測(cè)量和半導(dǎo)體測(cè)量?jī)x器，產(chǎn)品屬于高精密儀器，設(shè)計(jì)緊湊操作簡(jiǎn)單，超高性價(jià)比。深受廣大科研用戶的認(rèn)可。

產(chǎn)品包括：

? 金剛石切片機(jī)

? 晶圓平整度測(cè)量、曲率、應(yīng)力測(cè)量

? 光學(xué)測(cè)量平臺(tái)

? 電子準(zhǔn)直鏡

? 線寬、特征尺寸測(cè)量?jī)x

? 接觸角、表面張力、表面自由能測(cè)量?jī)x

? MTF測(cè)量?jī)x

v高精度MTF（調(diào)制傳遞函數(shù)）測(cè)量?jī)x

自1991年德國(guó)OEG公司成立以來(lái)，我們一直致力于MTF檢測(cè)領(lǐng)域。

經(jīng)過(guò)近30年的努力，我們擁有豐富長(zhǎng)足的經(jīng)驗(yàn)，為光學(xué)制造業(yè)提供穩(wěn)定的、高質(zhì)的計(jì)算機(jī)控制的全自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)。我們可以根據(jù)客戶檢測(cè)樣品的不同，提供不同的配置方案。

OEG的MTF測(cè)量臺(tái)因其精準(zhǔn)全面的測(cè)量功能，靈活可調(diào)的結(jié)構(gòu)方案，受到許多德國(guó)當(dāng)?shù)睾蛧?guó)際大型光學(xué)制造商的青睞。除了質(zhì)量控制，它在教育、研究、實(shí)驗(yàn)室等其他部門也有著同樣出色的表現(xiàn)。

v高精度MTF（調(diào)制傳遞函數(shù)）測(cè)量?jī)x

OEG 公司生產(chǎn)的 MTF測(cè)量臺(tái)為客觀評(píng)估圖像質(zhì)量，提供了軸上及離軸，任意方位角視場(chǎng)，任意物/象共軛的全自動(dòng)調(diào)制傳遞函數(shù)測(cè)量。

其適用范圍涵蓋標(biāo)準(zhǔn)的光學(xué)鏡頭，包括至 250mm 的通光孔徑，或從可見(jiàn)光到近紅外的光譜范圍。

v測(cè)量原理

系統(tǒng)提供被測(cè)透鏡的測(cè)試圖圖像。該圖像是由圖像分析儀投射到CCD相機(jī)上。MTF評(píng)估軟件根據(jù)測(cè)到的灰度分布計(jì)算MTF等參數(shù)。有意義的MTF測(cè)量既需要光軸上的測(cè)量，又需要圖像場(chǎng)上的測(cè)量。一個(gè)強(qiáng)大的自動(dòng)測(cè)量程序控制軟件和MTF計(jì)算算法同等重要。

此外，MTF試驗(yàn)臺(tái)的光學(xué)元件和機(jī)械元件必須滿足高質(zhì)量要求。OEG公司承諾MTF測(cè)試臺(tái)符合高精度MTF測(cè)量的要求！

v技術(shù)背景

調(diào)制傳遞函數(shù)（MTF）作為公認(rèn)的，評(píng)價(jià)光學(xué)圖像質(zhì)量的標(biāo)準(zhǔn)，其描述了圖像分辨率在軸上和在像場(chǎng)上的特征情況。
調(diào)制傳遞函數(shù)統(tǒng)一描繪了鏡頭反差與分辨率的關(guān)系。它也可被解釋為，以像對(duì)比度和物對(duì)比度的比值為函數(shù)，與余弦光柵的空間頻率的關(guān)系?？臻g頻率是指，每毫米內(nèi)能分辨出的線對(duì)數(shù)（lp/mm）。

v選擇MTF的理由

即便是再尖端的設(shè)計(jì)軟件和制造工藝，也無(wú)法避免鏡片或鏡頭因制造誤差而產(chǎn)生的，對(duì)成像質(zhì)量的影響。隨著對(duì)成像性能需求的日益增長(zhǎng)，通過(guò)調(diào)制傳遞函數(shù) MTF 來(lái)描繪鏡頭特性也越來(lái)越多地被采用。在光學(xué)工業(yè)，使用該參數(shù)來(lái)客觀評(píng)價(jià)光學(xué)系統(tǒng)，已然成為一種公認(rèn)的標(biāo)準(zhǔn)。

MTF測(cè)量系統(tǒng)允許在實(shí)際應(yīng)用時(shí)進(jìn)行實(shí)時(shí)測(cè)量。在測(cè)量中，可以復(fù)制或模擬場(chǎng)角位置、光譜范圍、物像之間的距離。

MTF測(cè)量系統(tǒng)有很大的通用性。除了能夠檢測(cè) MTF 外，OEG 公司的 MTF 測(cè)量?jī)x器還能檢測(cè)像焦距、色差、畸變、像散、場(chǎng)曲、景深等許多其他光學(xué)參數(shù)。MTF測(cè)量結(jié)果可以與光學(xué)計(jì)算進(jìn)行比較。

實(shí)際的 MTF 測(cè)量，就是對(duì)測(cè)試卡經(jīng)過(guò)鏡頭所成像進(jìn)行的評(píng)估。測(cè)試卡可是一條邊或者一個(gè)狹縫（十字線）。測(cè)試卡圖像信號(hào)可以通過(guò)一個(gè)圖像處理系統(tǒng)，進(jìn)行數(shù)學(xué)計(jì)算并且評(píng)估。對(duì)線擴(kuò)散函數(shù)進(jìn)行傅里葉變化可以導(dǎo)出光學(xué)傳遞函數(shù)（OTF），而調(diào)制傳遞函數(shù)則是它的幅度（實(shí)數(shù)部分）。

OEG-MTF 測(cè)量?jī)x的優(yōu)勢(shì)：適用于?無(wú)限遠(yuǎn)-有限遠(yuǎn)?光路的 MTF Variant、水平結(jié)構(gòu)。

vMTF的實(shí)時(shí)測(cè)量

OEG 公司的MTF的測(cè)量系統(tǒng)使用CCD相機(jī)作為傳感器。圖像軟件可實(shí)時(shí)顯示測(cè)量圖像以及線擴(kuò)散函數(shù)、灰度分布等參數(shù)和MTF。

CCD相機(jī)優(yōu)勢(shì)是可以實(shí)時(shí)同時(shí)測(cè)量MTF矢向和切向。

vOEG-MTF測(cè)量系統(tǒng)的優(yōu)勢(shì)

l實(shí)時(shí)MTF測(cè)量

OEG公司的MTF系統(tǒng)全部采用CCD相機(jī)采集，來(lái)代替?zhèn)鹘y(tǒng)MTF測(cè)量中利用機(jī)械運(yùn)動(dòng)掃描線或邊圖像的過(guò)程。配合OEG公司自主開(kāi)發(fā)的圖像分析軟件，能夠在計(jì)算機(jī)屏幕上實(shí)時(shí)顯示MTF數(shù)據(jù)并評(píng)估。不僅如此，CCD相機(jī)還能實(shí)現(xiàn)子午（Meridional）和孤矢（Sagittal）兩個(gè)方向上數(shù)據(jù)的同時(shí)采集。

l互動(dòng)與自動(dòng)模式

MTF測(cè)量可以通過(guò)交互模式或自動(dòng)模式進(jìn)行。自動(dòng)模式通常適用于同一類型或系列產(chǎn)品的檢測(cè)，而交互模式則是用于特殊樣品的評(píng)估。在交互模式下，用戶可以利用操縱桿，對(duì)MTF測(cè)量?jī)x器的全部六個(gè)軸進(jìn)行手動(dòng)控制，自定義測(cè)量區(qū)域。MTF曲線圖會(huì)根據(jù)實(shí)時(shí)圖像，直接顯示在圖表中。測(cè)量數(shù)據(jù)可以和圖表一起保存在報(bào)告文件里。在自動(dòng)模式下，用戶需事先編輯一個(gè)測(cè)量模板，其包含了所有例如檢測(cè)參數(shù)類型、方位角、鏡頭類型等等各種相關(guān)的設(shè)置。載入準(zhǔn)備好的模板后，點(diǎn)擊開(kāi)始，所有測(cè)量就會(huì)自動(dòng)進(jìn)行，無(wú)需額外操作。

l全面的功能

OEG公司的MTF測(cè)量?jī)x器，能夠在計(jì)算機(jī)屏幕上實(shí)時(shí)顯示MTF、ESF(邊擴(kuò)散函數(shù))和LSF(線擴(kuò)散函數(shù))等信息，并支持在不同波長(zhǎng)間的簡(jiǎn)便切換，也可以在軸上和像場(chǎng)測(cè)量間進(jìn)行切換。MTF精度達(dá)到±0.02，可重復(fù)性為±0.01。同時(shí)，我們的儀器還提供鏡頭其他參數(shù)如焦距、色差、畸變、景深、場(chǎng)曲等等的測(cè)量。為全面評(píng)估鏡頭的真實(shí)品質(zhì)，提供了客觀的參考依據(jù)。

l針對(duì)性的解決方案

我們生產(chǎn)每一臺(tái)MTF測(cè)量?jī)x器，都會(huì)事先同客戶進(jìn)行磋商，為不同客戶的特殊測(cè)量任務(wù)需求進(jìn)行調(diào)整。包括焦距范圍、光圈值、光源波長(zhǎng)、物面與像面的位置等等。

比如?有限遠(yuǎn)-有限遠(yuǎn)?光路與?無(wú)限遠(yuǎn)-有限遠(yuǎn)?光路，他們擁有不同的光學(xué)結(jié)構(gòu)。再比如，用于長(zhǎng)焦距大光圈的鏡頭的MTF測(cè)量?jī)x器，相較于短焦距的鏡頭，又有著不同的測(cè)量準(zhǔn)直儀焦距。再或者，一些客戶也許并不需要色差、畸變這類額外的檢測(cè)功能，等等。

OEG 作為具有多年業(yè)內(nèi)經(jīng)驗(yàn)的企業(yè)，會(huì)根據(jù)每位客戶的實(shí)際需求，提供針對(duì)性的儀器方案以及最專業(yè)的技術(shù)支持。

另可提供圖像分析軟件MTF-Explorer選擇，用于檢測(cè)調(diào)制傳遞函數(shù)（MTF）、線擴(kuò)展函數(shù)（LSF）、邊擴(kuò)展函數(shù)（ESF），評(píng)估分析圖像。MTF Explorer是兼容性很強(qiáng)的評(píng)估軟件。它可加裝有現(xiàn)有的，或老式的MTF測(cè)量?jī)x器中，也可在不以MTF為主要目的，只作為某一參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)的特殊測(cè)量?jī)x器中使用。當(dāng)然，它同樣適合學(xué)校實(shí)驗(yàn)，與簡(jiǎn)單的測(cè)試設(shè)備結(jié)構(gòu)搭配使用。

v 技術(shù)參數(shù)

1、EFL范圍：10~300mm

2、通光孔徑：150 mm

3、波長(zhǎng)范圍：380~780nm

4、最大視場(chǎng)角sin（w）：±80°

5、MTF測(cè)量精度：±0.2%

6、測(cè)量重復(fù)性：±0.01

7、最大空間頻率：500 lp/mm

8、EFL測(cè)量精度：±0.5%

v 針對(duì)特殊需求的特殊解決方案

經(jīng)驗(yàn)表明，MTF測(cè)試臺(tái)通常需要定制，因此，供應(yīng)商和客戶要密切合作，以調(diào)節(jié)實(shí)際需求。技術(shù)參數(shù)必須與測(cè)量樣品相適應(yīng)，比如自由孔徑、測(cè)試樣品波長(zhǎng)、物像共軛、圖像大小、目標(biāo)場(chǎng)角度、和EFL等。