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德國OEG公司研發(fā)生產(chǎn)的FLATSCAN掃描儀，采用光學(xué)非接觸式測量方法對樣品，如： 硅晶圓和玻璃襯底， 進行弓/翹曲、斜率和表面曲度3D/2D測量。
此外，儀器自帶的測量軟件可計算出樣品的膜層應(yīng)力。
v廠家簡介 |
德國OEG公司成立于1991年，設(shè)計制造光學(xué)測量和半導(dǎo)體測量儀器，產(chǎn)品屬于高精密儀器，設(shè)計緊湊操作簡單，超高性價比。深受廣大科研用戶的認(rèn)可。 產(chǎn)品包括： ? 金剛石切片機 ? 晶圓平整度測量、曲率、應(yīng)力測量 ? 光學(xué)測量平臺 ? 電子準(zhǔn)直鏡 ? 線寬、特征尺寸測量儀 ? 接觸角、表面張力、表面自由能測量儀 ? MTF測量儀 |
v晶圓平整度曲率應(yīng)力測量儀—Flatscan光學(xué) |
光學(xué)非接觸表面測量儀，能進行大范圍2D/3D測量，可測量晶圓應(yīng)力（薄膜應(yīng)力），表面半徑曲率和斜坡。 FLATSCAN適用于任意種類反射表面的：平整度、波紋度和彎曲（弓/翹曲）及表面輪廓的非接觸式自動2D或3D測量，并通過軟件計算其薄膜應(yīng)力，如硅晶圓、鏡面、X射線反射鏡（多層膜反射鏡/Goebel鏡）、金屬表面、拋光的聚合物等等。 |
v測量原理 |
表面輪廓： 垂直于樣品表面的入射光，經(jīng)過表面反射后形成的反射角，會因表面輪廓的不同而產(chǎn)生變化。FLATSCAN正是依據(jù)測量點之間反射角的變化，通過軟件重新計算并構(gòu)建了樣品表面輪廓，實現(xiàn)了全自動高精度的測量。 薄膜應(yīng)力： 對于薄膜、單層或者多層鍍膜的應(yīng)力，軟件主要依據(jù)Fowkes的理論，通過檢測鍍膜前后，基板曲率半徑的變化量計算得到。比如在半導(dǎo)體行業(yè)或者其他應(yīng)用領(lǐng)域，當(dāng)反射表面被加工處理后（鍍膜或者去鍍膜），操作人員能夠利用FLATSCAN快速地對晶圓薄膜應(yīng)力進行檢測。 |
v應(yīng)用 |
FLATSCAN適用于任意種類反射表面的，平整度、波紋度和彎曲（弓/翹曲）的非接觸式測量，如硅晶圓、鏡面、X射線反射鏡（多層膜反射鏡/Goebel鏡）、金屬表面、拋光的聚合物等。 |
v產(chǎn)品特性 |
? 高測量精度。 ? 非接觸式測量。 ? 3D/2D可選。 ? 近似任意大小的可測量面積。 ? 可以檢測更高的彎曲度。 ? 適用于較大面積樣品的測量。 ? 適用于高彎曲表面，如X射線反射鏡（多層膜反射鏡）、硅晶圓等。 |
v產(chǎn)品參數(shù) |
1. 光學(xué)掃描系統(tǒng) |
1.1非接觸式激光光源測量。 1.2具有自動測量晶圓的曲率，輪廓和薄膜應(yīng)力功能。 1.3具有3D/2D可選的應(yīng)力測量模式。 1.4光學(xué)系統(tǒng)可測量標(biāo)準(zhǔn)直徑200mm、300mm的晶圓及需求的更大的視野。 1.5輪廓測量重復(fù)精度100nm。 1.6掃描速度為10mm/s-30mm/s。 1.7光學(xué)系統(tǒng)曲率分辨率0.1arcsec，精度1arcsec。 |
2. 樣品臺 |
2.1樣品臺具有X，Y，Phi軸自動位移功能，并可以在軟件系統(tǒng)中控制和調(diào)節(jié)。 2.2具有自動調(diào)平功能。 |
3. 數(shù)據(jù)采集和記錄系統(tǒng) |
具有方便易用的軟件系統(tǒng)，具有方便易用的軟件系統(tǒng)，具有友好的用戶界面； 軟件系統(tǒng)可以采集并記錄鍍膜前后的表面輪廓和曲率數(shù)據(jù)，并可以根據(jù)鍍膜前后； 數(shù)據(jù)計算薄膜材料的應(yīng)力分布和翹曲度； 軟件可以讀出鍍膜前后的晶圓曲率半徑，顯示三維形貌。 |