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金剛石劃片機(jī)
品牌：德國(guó)OEG，型號(hào)：MR200；
部分客戶(hù)：清華大學(xué)、北京航空航天大學(xué)、西安光機(jī)所等；
闡述：金剛石劃片機(jī)是一種應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)，尤其是在利用掃描電子顯微鏡（SEM）觀察硅晶圓前的準(zhǔn)備階段，理想的劃割工具。
高質(zhì)量的光學(xué)變焦系統(tǒng)，為掃描區(qū)域8倍至40倍的無(wú)級(jí)放大切換提供了保證。
不僅如此，MR200還能為有需要的客戶(hù)，添加額外的光學(xué)和機(jī)械組件，以增加儀器性能及易用性。包括CCD相機(jī)，附帶測(cè)量功能的圖像處理系統(tǒng)，以及操作臺(tái)位移測(cè)量系統(tǒng)。
MR200提供多種調(diào)整方案。
品牌：德國(guó)OEG，型號(hào)：MR200；
部分客戶(hù)：清華大學(xué)、北京航空航天大學(xué)、西安光機(jī)所等；
闡述：金剛石劃片機(jī)是一種應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)，尤其是在利用掃描電子顯微鏡（SEM）觀察硅晶圓前的準(zhǔn)備階段，理想的劃割工具。
高質(zhì)量的光學(xué)變焦系統(tǒng)，為掃描區(qū)域8倍至40倍的無(wú)級(jí)放大切換提供了保證。
不僅如此，MR200還能為有需要的客戶(hù)，添加額外的光學(xué)和機(jī)械組件，以增加儀器性能及易用性。包括CCD相機(jī)，附帶測(cè)量功能的圖像處理系統(tǒng)，以及操作臺(tái)位移測(cè)量系統(tǒng)。
MR200提供多種調(diào)整方案。
型號(hào)MR200 | |||
控制 | 腳步開(kāi)關(guān)控制（上/下） | 晶圓承載臺(tái)角度 | 螺旋測(cè)微儀控制，可粗/精調(diào)節(jié)，分辨率10μm（0.006°） |
劃片力量 | 可調(diào)（通過(guò)氣壓閥） | 晶圓承載臺(tái)旋轉(zhuǎn) | 90°固定旋轉(zhuǎn) |
刀頭速度 | 可調(diào) | X-Y位移臺(tái) | 手動(dòng)，有效行程200x200mm，帶有粗/精微調(diào)螺絲，精20mm/10mm |
刀頭角度 | 可調(diào) | 最大劃片距離 | 200mm |
刀頭高度 | 可調(diào)，以用于不同厚度的樣品 | 氣壓要求 | 6bar（對(duì)于硅晶圓，使用1.9bar) |
顯微鏡 | 高質(zhì)量4倍變焦，放大倍數(shù)8X/40X，無(wú)極調(diào)整 | 光源 | 冷光源，環(huán)狀，220V |
目鏡十字線(xiàn) | 用于根據(jù)參考標(biāo)準(zhǔn)、結(jié)構(gòu)、邊界或其它精密調(diào)整劃線(xiàn) | 晶圓厚度 | 所有硅晶圓標(biāo)準(zhǔn)厚度 |
光學(xué)元件分辨率 | 40X時(shí)優(yōu)于10μm | 可切割材質(zhì) | 硅、藍(lán)寶石等 |
晶圓承載臺(tái) | 抽真空，直徑100/200mm | 可選 | 視頻系統(tǒng)/圖像處理系統(tǒng)、可選更大放大倍率/分辨率的光學(xué)元件 |
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1、 數(shù)字測(cè)量 | |||
100mm/200mm橫向移動(dòng)。25mm測(cè)微計(jì)可以由數(shù)字測(cè)微計(jì)量計(jì)替代。 可選的數(shù)字計(jì)量計(jì)測(cè)量范圍100mm/200mm，讀數(shù)10um，這個(gè)選項(xiàng)能實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)的劃線(xiàn)距離可以與90度旋轉(zhuǎn)的晶片夾相連，實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)的劃線(xiàn)。只有精定可以擴(kuò)展到100mm代替25mm、100mm和200mm數(shù)字計(jì)量計(jì)在結(jié)構(gòu)上有一些不同，當(dāng)100mm數(shù)字計(jì)量計(jì)通過(guò)粗定位不能測(cè)量時(shí)，200mm將被使用，因?yàn)闄C(jī)械施力更高，MR200可以擴(kuò)展到500mm機(jī)械寬度。 | |||
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2、 相機(jī)適配器升級(jí)套裝 | |||
CCD相機(jī)適配器升級(jí)套裝由顯微鏡組建群構(gòu)成。此外，相機(jī)和用于圖像處理的顯示器或PC是必不可少的，客戶(hù)能自行選擇。 | |||
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3 、 彩色視頻系統(tǒng) | |||
lUSB 2.0 CCD相機(jī) | |||
l一體化計(jì)算機(jī) | |||
l圖像處理軟件 | |||
l與相機(jī)適配器相連的升級(jí)套裝能通過(guò)目鏡和顯示器同時(shí)監(jiān)測(cè)顯微鏡圖像 | |||
圖像處理系統(tǒng)有如下的功能： | |||
l相機(jī)圖像由顯示器直播視頻 | |||
l圖像格式JPG或者BMP，可以存儲(chǔ)、加載和文字 | |||
l十字標(biāo)線(xiàn)、柵格和標(biāo)尺 | |||
l可測(cè)量：距離、角度、半徑、范圍和長(zhǎng)度 | |||
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4、 線(xiàn)寬測(cè)量 | |||
圖像處理軟件另一個(gè)擴(kuò)展工具是線(xiàn)寬的測(cè)量，這個(gè)模塊用于半導(dǎo)體行業(yè)高精度的寬度和距離的測(cè)量。測(cè)量是通過(guò)圖像的灰度值分布實(shí)現(xiàn)。不需要手動(dòng)設(shè)定標(biāo)記。 | |||
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5、 MR200基本配置 | |||
一般來(lái)說(shuō)，MR200不配備顯微鏡和光源，客戶(hù)可以自己使用自己的相關(guān)組件。顯微鏡必須有一個(gè)大約70mm的工作距離。 | |||
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6、 氣動(dòng)電源發(fā)生器 | |||
電磁鐵驅(qū)動(dòng)電源，如果這種方式電力不足，可采用氣動(dòng)電源。 精確的劃線(xiàn)，容易的操作：晶片被裝載定位后，顯微鏡聚焦在晶片表面，通過(guò)手動(dòng)驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)的x和y方向移動(dòng)。劃線(xiàn)能調(diào)節(jié)到參考的標(biāo)記或樣品的指定位置。高質(zhì)量的變焦顯微鏡能快速改變距離，實(shí)現(xiàn)樣品的整體視圖和詳細(xì)監(jiān)測(cè)。通過(guò)工作臺(tái)的x/y方向微調(diào)功能，能實(shí)現(xiàn)精確定位。金剛刀的著陸點(diǎn)是可調(diào)的。目鏡或顯示器的十字標(biāo)線(xiàn)能確定金剛刀的著陸點(diǎn)，通過(guò)腳踏開(kāi)關(guān)控制升降。因此金剛刀的移動(dòng)可以通過(guò)雙手控制的。 | |||